Produktübersicht

Der Vakuum-Absolutdrucktransmitter ist für die genaue Messung des absoluten Vakuumdrucks in Vakuumsystemen und Prozessgeräten konzipiert. Mithilfe der MEMS-Dual--Silizium-Sensortechnologie bietet es einen stabilen analogen oder digitalen Ausgang für Vakuumüberwachung, Automatisierungssteuerung, Halbleiterverarbeitung, Laborsysteme und industrielle Vakuumanwendungen.

Hauptmerkmale

Die MEMS-Dual-{0}}Silizium-Sensortechnologie bietet eine hohe Messstabilität und schnelle Reaktion unter Vakuumbedingungen.
Eine Genauigkeit von bis zu ±0,05 % FS ermöglicht eine präzise Vakuumüberwachung und Prozesssteuerung.
Die 10-fache Überdruckfähigkeit verbessert den Sensorschutz vor unerwarteten Druckstößen.
Das Edelstahlgehäuse SUS304 oder SUS316L bietet Korrosionsbeständigkeit für anspruchsvolle Industrieumgebungen.

Typische Anwendungen

Vakuumbeschichtungsanlage

Halbleiterverarbeitungssysteme

Industrielle Vakuumpumpen

Vakuumfördersysteme

Steuerungssysteme für die Prozessautomatisierung

Vakuumöfen

Labor-Vakuumkammern

Leckerkennungssysteme

Pharmazeutische Vakuumtrocknungsausrüstung

Vakuumverpackungslinien für Lebensmittel

Technische Spezifikationen

HNP50 Vakuummanometer
Spezifische Parameter	Wert/Beschreibung
Messprinzip	Das Vakuumdruckmessgerät HNP50 nutzt die MEMS-Dual-Silizium-Technologie in Verbindung mit hochpräzisen digitalen Leiterplatten, um eine genaue Messung des Vakuumniveaus und eine stabile Datenausgabe zu erreichen. Das Gehäuse aus Edelstahl 304/316L eignet sich für raue Betriebsbedingungen und kann Daten über Sekundärinstrumente anzeigen und erfüllt so die Anforderungen automatisierter Präzisionsmessung und -steuerung für Vakuumgeräte.
Messbereich (Absolutdruck)	0,1–1000 KPa, 0,001–10 KPa, 0,001–20 KPa, 0,001–100 KPa, hält der 10-fachen maximalen Überlastkapazität stand
Eingangsspannung	24V
Gehäusematerial	Edelstahl SUS304, SUS316 oder vom Kunden definiertes Material
Genauigkeitsbereich	1 % FS, 0,5 % FS, 0,25 % FS, 0,1 % FS, 0,05 % FS
Reichweitenbereich	0–1 Torr, 0–10 Torr, 0–100 Torr, 0–1000 Torr, benutzerdefinierter Bereich
Ausgangskabel	2-adriges, 4-adriges Kabel (abgeschirmtes Kabel erfordert spezielle Anweisungen)
Prozessschnittstelle	KF16, KF25 (andere Schnittstellentypen können angepasst werden)
Elektrischer Anschluss	5-poliger Anschlussblock, 9-poliger D-Sub, 15-poliger D-Sub, kundenspezifischer elektrischer Direktausgangsanschluss
Betriebstemperatur	-20-80 Grad
Ausgangssignal	4-20mA, RS485
Zertifizierung	CE, ISO9001, SIL

OEM & Anpassung

Kundenspezifische Vakuummessbereiche und Kalibrierpunkte.

Kundenspezifische elektrische Steckverbinder und Verkabelungskonfigurationen.

Optionale Gehäusematerialien für spezifische Medienkompatibilität.

Eigenmarken-Branding, Logo-Markierung und Modellkodierung.

Alternative Vakuumflansche und Prozessanschlüsse.

Kundenspezifische Kabellängen und abgeschirmte Kabeloptionen.

Werkskalibrierungszertifikate und Prüfberichte.

Maßgeschneiderte Verpackungen, Handbücher und OEM-Dokumentation.

Zertifizierungen und Compliance

CE -Einhaltung der geltenden europäischen Sicherheits-, EMV- und Umweltanforderungen.
ISO 9001 -Zertifizierung des Fertigungsqualitätsmanagementsystems.
SIL -Einhaltung der funktionalen Sicherheit für sicherheitsrelevante Industrieanwendungen.
RoHS (optional) -Beschränkung gefährlicher Stoffe in elektronischen Bauteilen.
Materialrückverfolgbarkeit (optional) -Dokumentation für regulierte Industrieprojekte.

FAQ

F: Was ist der Unterschied zwischen Absolutdruck- und Relativdruckmessung?

A: Der absolute Druck bezieht sich auf ein perfektes Vakuum (0 Pa absolut), während sich der Manometerdruck auf den atmosphärischen Druck bezieht. Vakuumsysteme erfordern typischerweise eine Absolutdruckmessung.

F: Welche Vakuumeinheiten gibt es?

A: Messungen können je nach Anwendungsanforderungen im absoluten kPa- oder Torr-Bereich konfiguriert werden.

F: Kann der Sender in Tiefvakuumanwendungen betrieben werden?

A: Ja. Es sind Modelle für Bereiche ab 0,001 kPa und 0–1 Torr erhältlich, die für die Hochvakuumüberwachung geeignet sind.

F: Welches Ausgangssignal soll ich wählen: 4–20 mA oder RS485?

A: 4–20 mA werden üblicherweise für industrielle Steuerungssysteme verwendet, während RS485 für die digitale Kommunikation und die Vernetzung mehrerer Geräte geeignet ist.

F: Ist nach der Installation eine Neukalibrierung erforderlich?

A: Zur Aufrechterhaltung der Messleistung wird eine regelmäßige Neukalibrierung basierend auf den Betriebsbedingungen, Genauigkeitsanforderungen und internen Qualitätsverfahren empfohlen.

HNP50 Vakuummanometer
Spezifische Parameter	Wert/Beschreibung
Messprinzip	Das Vakuumdruckmessgerät HNP50 nutzt die MEMS-Dual-Silizium-Technologie in Verbindung mit hochpräzisen digitalen Leiterplatten, um eine genaue Messung des Vakuumniveaus und eine stabile Datenausgabe zu erreichen. Das Gehäuse aus Edelstahl 304/316L eignet sich für raue Betriebsbedingungen und kann Daten über Sekundärinstrumente anzeigen und erfüllt so die Anforderungen automatisierter Präzisionsmessung und -steuerung für Vakuumgeräte.
Messbereich (Absolutdruck)	0,1–1000 KPa, 0,001–10 KPa, 0,001–20 KPa, 0,001–100 KPa, hält der 10-fachen maximalen Überlastkapazität stand
Eingangsspannung	24V
Gehäusematerial	Edelstahl SUS304, SUS316 oder vom Kunden definiertes Material
Genauigkeitsbereich	1 % FS, 0,5 % FS, 0,25 % FS, 0,1 % FS, 0,05 % FS
Reichweitenbereich	0–1 Torr, 0–10 Torr, 0–100 Torr, 0–1000 Torr, benutzerdefinierter Bereich
Ausgangskabel	2-adriges, 4-adriges Kabel (abgeschirmtes Kabel erfordert spezielle Anweisungen)
Prozessschnittstelle	KF16, KF25 (andere Schnittstellentypen können angepasst werden)
Elektrischer Anschluss	5-poliger Anschlussblock, 9-poliger D-Sub, 15-poliger D-Sub, kundenspezifischer elektrischer Direktausgangsanschluss
Betriebstemperatur	-20-80 Grad
Ausgangssignal	4-20mA, RS485
Zertifizierung	CE, ISO9001, SIL

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